高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力

刘艳; 苏东奇; 杨怀江; 隋永新

高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力

1.
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033;
2.
中国科学院研究生院,北京100049

基金项目:

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目

详细信息

作者简介:
刘艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

刘艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

刘艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

中图分类号: TH744.3
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出版历程
- 收稿日期: 2010-05-17
- 修回日期: 2010-07-25
- 刊出日期: 2010-10-25

Immunity of phase shifting algorithms to vibration errors in high-accuracy interferometry

1.
State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Insititute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;
2.
Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China

摘要

摘要: 对移相干涉测量中影响移相稳定性,从而产生测量误差的小幅度机械振动进行了研究,建立了振动误差模型,仿真分析了Wyant84b三步算法、Hariharan87五步算法、七步算法和十三步算法4种不同移相算法对振动的免疫能力。模拟结果显示,十三步算法对振动的免疫能力最好,与已发表文献成果吻合,说明本文的模拟具有较高的可信度,在一定程度上能够对影响干涉仪精度的振动误差进行合理预测,并能够起到评价和筛选移相算法的作用。
- 移相干涉术 /
- 振动误差 /
- 误差分析 /
- 移相算法
Abstract: As vibration errors are the crucial source of error in a high accuracy interferometric test, this paper researches the effect of mechanical vibration on the phase shifting stability. It establishes vibration error models and simulates the immunity of vibration by using the three-step algorithm, five-step algorithm, seven-step algorithm and thirteen-step algorithm, respectively. The results show that the thirteen-step algorithm is the best in immunizing the vibration. For the results agreed with that in other literature, it proves the simulation in this paper is believable. To some extent, the method can give a reasonable prediction of the vibration error which effects the precision of interferometer and it also can evaluate and select the algorithm of phase shifting.
- phase shifting interferometry /
- vibration error /
- error analysis /
- phase shifting algorithm

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参考文献(1)

[1] CREATH K. Phase-measurement interferometry techniques[J]. Progress Opt.,1988,(26):349-398. [2] BRUNING J H,HERRIOTT D R,GALLAGHER J E,et al.. Digital wavefront measuring interferometer for testing optical surfaces sand lenses[J]. Appl. Opt.,1974,13(11):2693-2703. [3] WINGERDEN J van,FRANKENA H H,SMORENBURG C. Linear approximation for measurement errors in phase shifting interferometry[J]. Appl. Opt.,1991,30:2718-2729. [4] CREATH K. Comparison of phase-measurement algorithms[J]. SPIE,1986,680:19-28. [5] MALACALA D. Optical Shop Testing[M]. 3rd. Hoboken:A John Wiley & Sons, Inc.,Publication, 2007. [6] GROOT P,DECK L L. Numerical simulations of vibration in phase-shifting interferometry[J]. Appl. Opt.,1996,35(13):2172-2178.

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